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高靈敏度氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲源一般可分為兩種：一種是來自離子電流接收放大器輸出電路的噪聲，另一種是背景噪聲。 事實(shí)上，通過改進(jìn)電子電路，

儀器中離子電流接收增益和輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降低到非常低的水平，從而不再是限制設(shè)備靈敏度的主要因素。如果在特殊情況下，它仍然是限制靈敏度的主要因素，

則可以通過放大信號(hào)以提高信噪比來提高靈敏度。 

背景噪聲是由背景尖端的不穩(wěn)定性引起的，這與背景的大小和電磁場參數(shù)的穩(wěn)定性有關(guān)，包括：

 1.離子源發(fā)射的電子流不穩(wěn)定，加速電壓不穩(wěn)定，分析儀電磁參數(shù)不穩(wěn)定；

2.氦氣在真空系統(tǒng)中的吸收和再釋放（如真空油脂、人造橡膠和有機(jī)絕緣材料可以吸收和釋放氦氣），電離真空計(jì)，特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的儲(chǔ)存作用（污染時(shí)更嚴(yán)重）；

3.氦氣在泵系統(tǒng)中的防擴(kuò)散和氦氣泵速度的不穩(wěn)定性；

4.氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器本身泄漏以及氦氣的滲透；

5.氦離子被殘余氣體分子散射等。這些因素對(duì)背景噪聲和靈敏度有顯著影響