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宜昌高純氦氣質譜檢漏儀粗漏與細漏檢測方法

為了實現對電子元器件更高密封嚴密性的檢測，自21世紀開端的幾年，國際上開端出現新型的堆集宜昌高純氦氣質譜檢漏儀。這種儀器采用了深冷泵和四極質譜倍增器。深冷泵內腔溫度可降至20K（-253℃），能夠有用吸收氫氦以外的各種氣體。

使用這種儀器，能夠進行粗漏和細漏的組合檢測。粗漏檢測以宜昌高純氦氣為示蹤氣體，預充氦或壓氦的粗漏被檢件，在空氣中經一段時間的貯存候檢，內部的宜昌高純氦氣分氣壓PHe應等于或高于正常空氣中的宜昌高純氦氣分氣壓PHe0。設粗漏檢測拒收的等效規范漏率判據為L0，按分子流氣體交流（走漏）形式，在真空下檢測的粗漏宜昌高純氦氣丈量漏率判據。

細漏檢測以宜昌高純氦氣或其它氣體為示蹤氣體，檢測的走漏示蹤氣體通過深冷泵，然后通過質譜倍增器進行一段時間的堆集檢測。因為深冷泵能有用進步宜昌高純氦氣對氫以外氣體的信噪比，再通過堆集倍增，非常有用的進步了宜昌高純氦氣細漏檢測的靈敏度。當前Inficon公司的Pernicka 700H型CHLD，使用銅墊圈密封小型檢測室時，可檢測的最小宜昌高純氦氣漏率已達4×10-9Pa·cm3/s，使用不同的檢測室，可檢測的宜昌高純氦氣丈量漏率判據范圍可為2×10-8Pa·cm3/s～1×10-6Pa·cm3/s。