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電子特氣是電子工業(yè)的關鍵原料，是名副其實的電子工業(yè)“血液”，貫穿著半導體各步工藝制程。它的純度和潔凈度直接會影響到光電子、微電子元器件的質量、性能、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業(yè)用的特種氣體，據統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種，按其門類可分為純氣，高純氣和半導體

特殊材料氣體三大類。主要應用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、外延生長、離子注入、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。電子氣體對于半導體集成電路芯片的質量和性能具有重要意義。

隨著半導體集成電路技術的發(fā)展，對電子氣體的純度和質量要求越來越高，電子氣體目前發(fā)展目標是增加品種、增加產量、提高國產化率，并向完成 對特氣生產及應用的全套技術開發(fā)的目標努力，技術包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監(jiān)測、充裝、輸送、貯存技術，以及安全、環(huán)保技術、現場配