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1、單一組分的制備方法

制備單一組分標準氣體的方法因物質的性質不同而異。對于揮發性較強的液態物質，可利用其揮發作用制備，不能用揮發法制備的可采用化學反應法制備。混合氣體制備

2、標準混合氣體的制備

標準混合氣體是用一種高純氣體作稀釋氣再添加一種或幾種其它的高純氣體配制而成。標準氣體的配制方法主要有稱量法、分壓法、體積法、滲透法、飽和法、電解法、指數稀釋法、流量比混合法等，從氣體動力學的角度分為靜態配氣法和動態配氣法。靜態配氣法是把一定量的氣態或蒸氣態原料氣體回入已知容積的容器中，再充入稀釋氣體，混勻制得。

標準混合氣體配制的技術

1、重量法：該方法應用高載荷精密天平稱量裝入鋼瓶中的各氣體組分，根據各組分的質量比，計算出鋼瓶中標準氣體的濃度。

2、質量流量比法：該方法以流量比率混合的方法進行標準氣體的配制，因此流量的準確測定是保證所配制所的關鍵。

3、壓力比法：這種方法在配制混合氣體時，根據測定各組分的壓力，按指定濃度進行配氣。

4、滲透管法：滲透管是一種提供原料氣氣源的設備，主要由裝原料液的小容器和滲透膜組成。

5、靜態容量法：目前，國家標準仍然沿用靜態容量法配氣裝置配氣。

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